Bomba de Vacío
Muchos procesos de microelectrónica, como la deposición de films finos por CVD, así como, plasma etching, sputtering y evaporización, son realizadas en cámaras de vacío en regímenes de presión reducida y o en ambiente con flujo de gases. Es importante por tanto, para la mejor comprensión de estos procesos el conocimiento de la terminología de […]